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产品中心
做MPCVD设备中国智造领军者
| 产品中心
设备介绍
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产品性能
performance
我们的优势概述
友好的用户界面,齐全的功能应用和保护程序,确保设备安全高效运转;
全管路温控的水冷式圆柱及可实时自动调节生长台;
设备精密、集成度高、空间利用率高;
腔体结构合理,通过仿真定制适配器,培育效率高;
全进口微波系统,能量密度高,大功率微波密度内,等离子球能保持高度稳定性;
自动/手动灵活切换操作并具备庞大的数据记录功能;
高精密流量控制,支持长时间稳定运行;
根据客户需要,可选择使用热像仪监测温度场,培育全程AI监控及干预;
×
M82 750B 6K
技术参数
项目
数据
设备型号
M82 750B 6K
操作系统
SXG-MPCVD控制系统
微波频率
2450MHz,输出功率:6KW
反应腔
承载功率≦10KW
生长台
Φ2英寸
工作压力
10-200Torr
标准气路
5路/6路(可定制)
测温系统
红外测温,测温范围300~1400℃
系统真空密封性(氦质谱捡漏)
<1×10-9 Torr.l/sec
真空泵
17.1 m3/H
设备尺寸
1500MM(长)*800MM(深)*1980MM(高)
设备重量
490KG
×
M82 730 6K
技术参数
项目
数据
设备型号
M82 730 6K
操作系统
SXG-MPCVD控制系统
微波频率
2450MHz,输出功率:6KW
反应腔
承载功率≦10KW
生长台
Φ2英寸
工作压力
10-200Torr
标准气路
5路/6路(可定制)
测温系统
红外测温,测温范围300~1400℃
系统真空密封性(氦质谱捡漏)
<1×10-9 Torr.l/sec
真空泵
17.1 m3/H
设备尺寸
主机:1500MM(长)*700MM(深)*1880MM(高)
电控柜:545MM(长)*765MM(深)*1740MM(高)
设备重量
主机:375KG;电控柜:185KG
×
FM公司6KW微波发生器
FM - PS6kW ac display MAGNETRON
联系方式
E-mail: service@shunxingu.com
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